光谱椭偏仪
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光谱椭偏仪是一种基于椭圆偏振测量原理的光学仪器,主要用于表征薄膜和材料的光学特性与微观结构。它通过测量偏振光在样品表面反射或透射后偏振态的变化,获取振幅比Ψ和相位差Δ等参数,进而通过建模分析,非接触、无损地精确测定薄膜厚度、折射率、消光系数、光学带隙以及表面粗糙度等关键参数。该仪器具有高精度、高灵敏度以及宽光谱范围(通常覆盖紫外至近红外波段)等技术优势,广泛应用于半导体制造、光学镀膜、平板显示、太阳能电池、材料科学及生物传感等领域的研发与质量检测。
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