Simonezygo激光干涉仪
的有关信息介绍如下：
ZYGO激光干涉仪是高精度光学面形貌分析仪器，广泛应用于化工、能源、汽车制造、电子半导体及科研等领域 。该仪器以相移干涉技术为核心，采用632.8 nm波长的稳频氦氖激光光源 。其硬件配置包括高纯度熔融石英光学镜片、钛合金镜筒的Mirau干涉物镜以及百万像素级CCD探测器 。测量时，通过光束干涉记录样品表面微观起伏，实现非接触式三维形貌重建 。典型型号如VeriFire干涉仪，成像分辨率达1000×1000像素，RMS重复性优于λ/10,000 ；NewView 9000光学轮廓仪支持150μm的垂直扫描范围（可扩展至20mm），单次扫描时间不超过5秒 。
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