四甲基氢氧化铵

四甲基氢氧化铵

四甲基氢氧化铵（英文名称：Tetramethylammonium hydroxide，简称TMAH），是一种季铵碱类有机化合物，分子式为(CH3)4NOH，相对分子量为91.15 。TMAH外观为无色晶体（常含三、五等结晶水） ，有一定的氨气味 ，熔点63℃ ，沸点120℃。易溶于水和醇类，微溶于二甲基亚砜、二氯甲烷等有机溶剂。TMAH铵具有强碱性，能和多种酸反应生成季铵盐，在空气中能迅速吸收二氧化碳形成碳酸盐，还具有较强的甲基化能力，酯化反应速度快。TMAH受热易分解，在135~145℃时分解气化 。

工业上，一般采用四甲基铵盐和氢氧化物作为原料制备TMAH，常见的制备方法包括沉淀法、碱置换法、双极膜电渗析法、电解法和离子膜电解法等 。TMAH被广泛用于半导体领域，主要用作印刷电路板的光刻显影剂以及微电子芯片制造中的清洗剂。在工业领域和分析领域也有广泛用途，如用作有机合成试剂、表面活性剂、催化剂、缓蚀剂及甲基化溶剂等 。

TMAH是一种强碱，燃烧会释放出有毒氮氧化物和氨气烟雾 。接触、食入或吸入TMAH对人体皮肤、眼睛、粘膜具有强刺激性和腐蚀性，吸入可引起喉、支气管炎症、痉挛、化学性肺炎及肺水肿等 。进入人体后，TMAH可与胆碱能受体激动剂反应分解，其分解产物会抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉麻痹，导致脑部缺氧和器官衰竭死亡。成人的口服致死剂量估计为250~1000mg 。

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